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真空系統(tǒng)應(yīng)用中，各式材料在大氣環(huán)境下制造、放置等過(guò)程中都會(huì)溶解及吸附一些氣體。而在真空環(huán)境中，這些溶解、吸附的氣體會(huì)重新釋放出來(lái)。

真空系統(tǒng)應(yīng)用中，材料放氣，一個(gè)是常溫下的放氣，另一個(gè)就是在高溫下的放氣。 

常溫下的放氣

常溫放氣中，首先是各種有機(jī)材料的放氣，它釋放的主要成分是水汽，放氣速率高，隨時(shí)間衰減慢，因此不適宜做系統(tǒng)容器的內(nèi)部零件。其次是玻璃、陶瓷，它們的放氣主要是表層的水汽，其次是一氧化碳與二氧化碳，水汽通過(guò)烘烤可以去除，因此總體放氣速率低，衰減快。金屬的常溫放氣主要是表面氧化膜吸收的水汽，可以通過(guò)烘烤基本除凈，使金屬的常溫放氣速率顯著降低，少量的金屬體內(nèi)放氣以氫氣居多。 

高溫下的放氣

真空系統(tǒng)運(yùn)行過(guò)程中，不少部件都處于高溫狀態(tài)。玻璃、陶瓷等除了高溫下體內(nèi)擴(kuò)散加快外，與常溫放氣沒(méi)有本質(zhì)差別。而金屬的高溫體擴(kuò)散出氣一般是溶解在內(nèi)部的原子態(tài)氣體在表面反應(yīng)后形成分子態(tài)氣體逸出。此外未經(jīng)過(guò)處理的玻璃、金屬表面在高溫下也會(huì)成為重要的放氣源，因此需要經(jīng)過(guò)清洗、拋光、烘干氧化等各種表面處理工藝，降低材料放氣。 

真空系統(tǒng)要保證合理的設(shè)計(jì)，要考慮很多真空泵的抽氣能力具有選擇性，因此需要知道各種材料放氣的成分比例、性能，才能更好地進(jìn)行針對(duì)性的選擇。