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能譜儀的掃描方式有三種，點(diǎn)分析、線分析和面分析。

點(diǎn)分析也稱作點(diǎn)掃（也稱“點(diǎn)分析”）是指將電子束只打到試樣的某一點(diǎn)上，得到這一點(diǎn)的X射線譜和成分含量。例如當(dāng)需要測定某一顆粒或者磨粒的材質(zhì)成分時(shí)，就需要用到點(diǎn)分析。

線分析是也稱作線掃，是指電子束沿樣品表面選定的直線軌跡作所含元素濃度的線掃描分析。例如某一樣品由不同層次組成，如果要確定每一層次的成分時(shí)，就可以用到線分析，即在該樣品的截面圖像上從樣品內(nèi)部向表面拉一條直線，電子束沿著直線進(jìn)行掃描，采集每一層次元素的特征X射線并計(jì)數(shù)，每條曲線的高低起伏反映所對應(yīng)元素沿著掃描線濃度的變化。

面分析也稱作面掃描，是指將電子束對樣品表面某一區(qū)域進(jìn)行掃描，得到這個(gè)區(qū)域的元素分布狀態(tài)，每種元素由不同的顏色代表，它在所分析區(qū)域內(nèi)的分布一目了然，非常直觀。例如，對某一未知固體混合物，可以用面分析的方式快速確定其主要元素及各元素其分布區(qū)域。