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金相顯微鏡(metallurgical microscope)是用入射照明來觀察金屬試樣表面(金相組織)的顯微鏡，它是將光學(xué)顯微鏡技術(shù)、光電轉(zhuǎn)換技術(shù)、計(jì)算機(jī)圖像處理技術(shù)完美地結(jié)合在一起而開發(fā)研制成的高科技產(chǎn)品，可以在計(jì)算機(jī)上很方便地觀察金相圖像，從而對(duì)金相圖譜進(jìn)行分析，評(píng)級(jí)等以及對(duì)圖片進(jìn)行輸出、打印。

掃描電鏡一種新型的電子光學(xué)儀器。它具有制樣簡(jiǎn)單、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像的分辨率高、景深大等特點(diǎn)。數(shù)十年來，掃描電鏡已廣泛地應(yīng)用在生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、冶金學(xué)等學(xué)科的領(lǐng)域中，促進(jìn)了各有關(guān)學(xué)科的發(fā)展。

兩種顯微鏡存在很大的區(qū)別，主要有以下幾方面：

一、光源不同：金相顯微鏡采用可見光作為光源，掃描電鏡采用電子束作為光源成像。

二、原理不同：金相顯微鏡利用幾何光學(xué)成像原理進(jìn)行成像，掃描電鏡利用高能量電子束轟擊樣品表面，激發(fā)出樣品表面的各種物理信號(hào)，再利用不同的信號(hào)探測(cè)器接受物理信號(hào)轉(zhuǎn)換成圖像信息。

三、分辨率：金相顯微鏡因?yàn)楣獾母缮媾c衍射作用，分辨率只能局限于0.2-0.5um之間。掃描電鏡因?yàn)椴捎秒娮邮鳛楣庠?，其分辨率可達(dá)到1-3nm之間，因此金相顯微鏡的組織觀察屬于微米級(jí)分析，掃描電鏡的組織觀測(cè)屬于納米級(jí)分析。

四、景深：一般金相顯微鏡的景深在2-3um之間，因此對(duì)樣品的表面光滑程度具有極高的要求，所以制樣過程相對(duì)比較復(fù)雜。掃描電鏡的景深則可高達(dá)幾個(gè)。