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什么是高效過濾器的接受標(biāo)準(zhǔn)？

大多數(shù)測試標(biāo)準(zhǔn)關(guān)于高效過濾器泄漏率的接受標(biāo)準(zhǔn)是，可接受的泄漏限度最終由客戶和供應(yīng)商共同確定。但是，對于使用HEPA過濾器或不同級別潔凈區(qū)的許多應(yīng)用，大多數(shù)采用≤0.01％的掃描測試泄漏標(biāo)準(zhǔn)。盡管0.01％的泄漏率在歷史上已經(jīng)使用過，并且其起源與早期的光度計(jì)測試設(shè)備精度有關(guān)，但在沒有進(jìn)行科學(xué)和基于風(fēng)險(xiǎn)的評估的情況下，將0.01％的泄漏率標(biāo)準(zhǔn)作為可接受標(biāo)準(zhǔn)將導(dǎo)致與泄漏測試有關(guān)的問題，并且如果在低風(fēng)險(xiǎn)區(qū)域發(fā)現(xiàn)超限或失敗情況，將可能會帶來巨大的運(yùn)營成本。過濾器不是100％截留的，并且預(yù)計(jì)MPPS附近的粒子在過濾器局部或整體可以穿透。當(dāng)使用較低級別的HEPA過濾器時(shí)，工廠進(jìn)行的MPPS或MPPS附近粒子的可接受泄漏率標(biāo)準(zhǔn)可能等于或大于現(xiàn)場泄漏率測試的接受標(biāo)準(zhǔn)，測試接受標(biāo)準(zhǔn)會變得更具爭議和困難。在可能發(fā)生泄漏的地方尤其如此。因此，在購買過濾器時(shí)，考慮過濾器的等級以及安裝后如何進(jìn)行測試非常重要，以避免不必要的現(xiàn)場測試失敗。

ISO 14644-3 [33]提供了有關(guān)如何實(shí)施泄漏替代標(biāo)準(zhǔn)的指南。 在基于風(fēng)險(xiǎn)的方法中，理想的接受標(biāo)準(zhǔn)是，該接受標(biāo)準(zhǔn)可以反映所使用過濾器的效率或所測試房間的潔凈度。 ISO 14644-3使用工廠過濾效率等級作為接受標(biāo)準(zhǔn)協(xié)商的基礎(chǔ)。光度計(jì)泄漏測試和基于粒子計(jì)數(shù)器的泄漏測試的泄漏接受標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)該相同，因?yàn)閮煞N方法背后的理論和方法是相同的。如果執(zhí)行得當(dāng)，使用光度計(jì)和粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行的泄漏測試將得到相同的泄漏率結(jié)果（Meek等，2011 [121]）。

如果檢測到的泄漏量超過上游濃度的0.01％，一般認(rèn)為該泄漏率超過最大允許標(biāo)準(zhǔn)。但是，對于整體效率MPPS≥99.95％且小于99,995％的過濾器系統(tǒng)（如H13過濾器），接受標(biāo)準(zhǔn)為0.1％。

如果要測試 MPPS 整體效率低于 99.95% 的過濾系統(tǒng)，則根據(jù)客戶和供應(yīng)商之間的協(xié)議，需要不一樣的接受標(biāo)準(zhǔn)。

用于去熱原隧道的高效過濾器

安裝到去熱原隧道中的過濾器需要經(jīng)受長時(shí)間的高溫操作，因此不適用標(biāo)準(zhǔn)過濾器。廠家使用陶瓷材料用于濾材與邊框的密封可提供耐受350℃的對0.3 µm顆粒的效率為99.99％的特殊過濾器（注，F(xiàn)DA對HEPA的定義為> 99.97％@0.3 µm）。最近，可用的材料有了進(jìn)步，并且引入了柔性密封劑，可以減少加熱時(shí)間并降低密封劑開裂的風(fēng)險(xiǎn)。傳統(tǒng)的過濾器需要具有受控的加熱和冷卻速度（通常不超過1℃/分鐘；應(yīng)與過濾器供應(yīng)商確認(rèn)該速率），以防止熱應(yīng)力損壞密封件。通常，在不使用期間，系統(tǒng)會保持高溫，以減少過濾器的加熱循環(huán)。

用于去熱原隧道的過濾器通常是H14。這些過濾器可以在安裝時(shí)進(jìn)行全面掃描泄漏測試，但是在首次加熱循環(huán)之后（過濾器會燃燒，通常會導(dǎo)致該過濾器等級與H13相當(dāng)），不建議再進(jìn)行傳統(tǒng)測試。因?yàn)闅馊苣z油（如聚α烯烴（PAO））將被截留到過濾器上并燃燒，從而產(chǎn)生不健康的煙霧，并可能堵塞過濾介質(zhì)。由于將過濾器介質(zhì)粘合在一起的粘合劑在燃燒會放氣，通常導(dǎo)致過濾器變脆。DEHS（癸二酸二乙基己酯）是一種可能會更快蒸發(fā)的替代油。