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ISO14644-1

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 1: Classification of air cleanliness by particle concentration潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境-第1部分：基于粒子濃度的空氣潔凈度分級

1999年第1版

2015年第2版

ISO14644-2

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境-第2部分：用粒子濃度監(jiān)測提供與空氣潔凈度相關(guān)的潔凈室性能的證據(jù)

2000年第1版

2015年第2版

ISO14644-3

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 3: Test methods潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境-第3部分：測試方法

2005年第1版 

2019年第2版

ISO14644-4

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 4: Design, construction and start-up潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境-第4部分：設(shè)計、建造和啟動

2001年第1版 

第2版更新中

ISO14644-5

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 5: Operations潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境-第5部分：運行

2004年第1版 

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ISO14644-6

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 6: Vocabulary潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境-第6部分：詞匯

2007年第1版 

2014年撤銷

ISO14644-7

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 7: Separative devices (clean air hoods, gloveboxes, isolators and mini-environments)潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境-第7部分：隔離裝置（潔凈風(fēng)罩、手套箱、隔離器、微環(huán)境）

2004年第1版

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ISO14644-8

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 8: Classification of air cleanliness by chemical concentration (ACC)潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境-第8部分：基于化學(xué)濃度的空氣潔凈度分級

2006年第1版

2013年第2版

ISO14644-9

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境-第9部分：基于粒子濃度的表面潔凈度分級（適用于汽車/飛機(jī)表面涂裝應(yīng)用)

2012年第1版

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ISO14644-10

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境-第10部分：基于化學(xué)濃度的表面潔凈度分級 （適用于汽車/飛機(jī)表面涂裝應(yīng)用)

2013年第1版

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ISO14644-11

暫無信息

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ISO14644-12

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 12: Specifications for monitoring air cleanliness by nanoscale particle concentration潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境-第12部分：納米級顆粒濃度監(jiān)測空氣潔凈度的規(guī)范

2018年第1版 

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ISO14644-13

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境-第13部分：通過表面清潔以達(dá)到規(guī)定的基于懸浮粒子和化學(xué)物質(zhì)潔凈度分級的潔凈級別（適用于汽車/飛機(jī)表面涂裝應(yīng)用)

2017年第1版 

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ISO14644-14

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境-第14部分：通過懸浮粒子粒濃度評估設(shè)備的適用性

2016年第1版 

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ISO14644-15

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 15: Assessment of suitability for use of equipment and materials by airborne chemical concentration潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境-第15部分：通過空氣中的化學(xué)物質(zhì)濃度評估設(shè)備和材料的適用性

2017年第1版 

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ISO14644-16

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 16: Code of practice for improving energy efficiency in cleanrooms and clean air devices潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境-第16部分：提高潔凈室和潔凈裝置能源效率的實施規(guī)程

2020年第1版

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ISO14644-17

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 17: Particle deposition rate applications潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境-第17部分：粒子沉降速率應(yīng)用

草案修訂中

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