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非球體和自由曲面的絕對(duì)形狀干涉測(cè)量法

嘉峪檢測(cè)網(wǎng)        2023-04-07 12:02

DFG與斯圖加特大學(xué)技術(shù)光學(xué)研究所(ITO)、德國(guó)聯(lián)邦物理技術(shù)研究院(PTB) 8.42工作組、PTB 5.56工作組、PTB 4.24工作組合作開展的新研究項(xiàng)目“非球體和自由曲面的絕對(duì)形狀干涉測(cè)量法(AbsoForm)”將于2023年1月1日開始實(shí)施,資助期為三年。
 
非球體或自由曲面的準(zhǔn)確測(cè)量極具挑戰(zhàn)性。所謂的“無參考”形狀的干涉測(cè)量是一種物理參考平面不存在的測(cè)量技術(shù)。它的要求比傳統(tǒng)的基于參考平面的形狀測(cè)量技術(shù)要高得多,例如用于平面度或球體測(cè)量的技術(shù)。雖然它有很多優(yōu)點(diǎn),但“無參考”形狀干涉測(cè)量法所達(dá)到的絕對(duì)形狀準(zhǔn)確度仍然是有限的。
 
該項(xiàng)目中,傾斜波干涉儀(TWI)被認(rèn)為是一種大有可為的“無參考”光學(xué)形狀測(cè)量技術(shù)。使用這種技術(shù)的目的是進(jìn)一步探索如何使用其它的絕對(duì)方法來提高此類測(cè)量系統(tǒng)的絕對(duì)形狀測(cè)量的準(zhǔn)確度。研究人員正在考慮實(shí)驗(yàn)方案的虛擬建模,因?yàn)檫@對(duì)找到最佳方法起著至關(guān)重要的作用,這些方法最終會(huì)應(yīng)用到實(shí)驗(yàn)裝置中,并借助特殊的測(cè)試對(duì)象進(jìn)行驗(yàn)證。
 
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來源:PTB新聞

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