X射線散射和熒光測(cè)量數(shù)據(jù)的結(jié)合可以促使周期性納米結(jié)構(gòu)的幾何形狀得以無(wú)損重建。研究人員為了應(yīng)用這種利用同步輻射的新型混合技術(shù)，建了一個(gè)小型測(cè)量室，并在BESSY II投入使用。
圖示：氮化硅晶格樣品的混合測(cè)量結(jié)果。改變方位角，在680 eV（電子伏特）的激發(fā)能下，測(cè)量氮和氧的熒光（a），以及前三個(gè)衍射級(jí)的散射（b）。圖（a）還顯示了在不同方位角下該結(jié)構(gòu)的晶胞內(nèi)局部場(chǎng)分布的模擬情況。
典型的GISAXS（掠入射小角X射線散射）測(cè)量是在樣品上的輻射入射角很平的情況下進(jìn)行的。另一方面，在極紫外線（EUV）或軟X射線光譜范圍內(nèi)，對(duì)結(jié)構(gòu)化樣品的輻射散射的測(cè)量可以在相對(duì)較大的入射角下進(jìn)行，最高可達(dá)30°（相對(duì)于表面的測(cè)量），因?yàn)樗褂貌牧系姆瓷渎室话阍谶@個(gè)角度比較高。大的入射角具有兩個(gè)主要優(yōu)勢(shì)：首先，樣品上的光斑范圍縮小了，即使是相對(duì)較小的結(jié)構(gòu)化區(qū)域（100µm²-）也可以進(jìn)行研究，這與半導(dǎo)體行業(yè)的樣品有關(guān)。其次，如今可以在測(cè)量室中整合X射線熒光的激發(fā)和檢測(cè)。結(jié)合X射線散射，現(xiàn)在有了第二個(gè)互補(bǔ)的信息渠道，可以確定樣品的元素分布。通過(guò)使用作為重建測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)的亞硝酸硅晶格樣品，就能運(yùn)用新儀器首次演示這種混合測(cè)量方法。
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