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半導(dǎo)體中的PFAS及替代方案

嘉峪檢測(cè)網(wǎng)        2024-01-16 11:14

PFAS，即全氟和多氟烷基物質(zhì)，具有持久性、遠(yuǎn)距離遷移性、生物累積性、生物毒性等危害，能對(duì)環(huán)境生物及人體健康產(chǎn)生長(zhǎng)期不良影響。
 
近期PFAS管控
 
近年來(lái)，隨著全球PFAS污染危機(jī)意識(shí)的提高，關(guān)于在產(chǎn)品和工藝中限制使用PFAS的要求也越發(fā)嚴(yán)格。
 
值得注意的是，歐盟開(kāi)始考慮一項(xiàng)提案，限制“永久化學(xué)品”物質(zhì)PFAS的廣泛使用，但目前減損數(shù)量有限。不過(guò)，這一提案再次引發(fā)了半導(dǎo)體行業(yè)的恐慌。這與芯片在當(dāng)前全球經(jīng)濟(jì)發(fā)展中的重要地位相關(guān)，這一提案將對(duì)半導(dǎo)體供應(yīng)鏈造成廣泛破壞。
 
接下來(lái)讓我們了解一下半導(dǎo)體中的PFAS及可替代情況。
 
半導(dǎo)體中的PFAS及可替代情況
 
工藝 用途 替代方案
流程
光刻 光刻膠 富士膠片Krf （248 nm）、DOWTM光刻膠已滿足PFOA或PFOS Free，但PFAS可替代情況尚不明確，部分產(chǎn)品中可用碳?xì)浠鶟?rùn)滑脂、二硫化鉬、石墨替代
光刻膠 無(wú)替代方案
（光敏劑）
光刻膠（光致產(chǎn)酸劑，PAG） 能形成強(qiáng)酸的無(wú)氟替代品，如芳香族PAG、雜芳香族PAG（三苯基硫鎓苯并[b]噻吩- 2-磺酸，4（或7） -硝基-離子（1-）（TPS TBNO））、不含氟的PAG
光刻膠 無(wú)替代方案
（猝滅劑）
顯影 顯影液添加劑 無(wú)氟表面活性劑的專利已見(jiàn)報(bào)道，但可替代情況尚不明確
清洗 漂洗液添加劑 可替代情況尚不明確
刻蝕 干法刻蝕劑、 能形成強(qiáng)酸、具有低表面張力、低折射率的替代品
濕法刻蝕劑
清潔刻蝕劑 可替代情況尚不明確
晶圓減薄 載體晶圓表面的不粘涂層 低表面張力的替代品
焊接 氣相焊接 無(wú)替代方案
傳熱介質(zhì)
其他 減反射膜 AZ Aquatar 8（氟烷酸酯）、
DOWTM減反射膜已滿足PFOA或PFOS Free，但PFAS可替代情況尚不明確
微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）加速度計(jì)、 無(wú)替代方案
MEMS圖像傳感器
模具、管道、化學(xué)容器、反應(yīng)表面等惰性元件 無(wú)氟聚合物，如聚丙烯、聚酯、聚酰亞胺等
半導(dǎo)體器件冷卻劑 礦物油、合成油、天然油、碳?xì)浠衔锪黧w
真空泵工作液 性質(zhì)穩(wěn)定、非反應(yīng)性的替代品

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