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HTOL (High-Temperature Operating Life) 即高溫壽命測(cè)試，通過(guò)溫度、電壓激活失效機(jī)制來(lái)評(píng)估芯片可靠性的測(cè)試方法。

測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)及規(guī)范

JESD22-A108、AEC-Q100、MIL-STD-883、GJB 548等。

測(cè)試方法

樣品數(shù)量：通常滿(mǎn)足3個(gè)不同批次各77EA樣品。

溫度設(shè)置：依照J(rèn)ESD22-A108、AEC-Q100 等標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置Tj(結(jié)溫)或Ta(環(huán)溫)，如常見(jiàn)Tj ≥125℃或Grade0≥150℃。

電壓設(shè)置：滿(mǎn)足≥Max工作電壓，注意在加速電壓測(cè)試不能超過(guò)對(duì)應(yīng)電源域Vbd電壓。

AEC-Q100 HTOL測(cè)試要求

監(jiān)測(cè)與記錄：一般采用168hrs、500hrs、1000hrs回讀數(shù)據(jù)，對(duì)比前后數(shù)據(jù)差異，如Vth、leakage、Ron等參數(shù)shift或是function、trim code失效等。

預(yù)估或計(jì)算：根據(jù)測(cè)試條件進(jìn)行壽命預(yù)估或失效率計(jì)算。

失效機(jī)制

氧化層破壞、電遷移、應(yīng)力遷移等。