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【問(wèn)】氣流流型測(cè)試有哪些方法及要求？

【答】氣流流型測(cè)試的目的是證明氣流方向及其均勻性與設(shè)計(jì)和性能技術(shù)要求相符，測(cè)試方法包括示蹤線法、示蹤劑注入法、圖像處理技術(shù)的氣體流型可視化方法和速度分布測(cè)量法的氣體流型可視化方法。參考ISO 14644-3潔凈室氣流流型測(cè)試推薦采用直徑為0.5~50μm的去離子水（DI）示蹤劑注入法，其安全、經(jīng)濟(jì)、清潔、無(wú)污染、水霧可見(jiàn)度高，利于拍攝，可用于各級(jí)別潔凈室氣流流型測(cè)試。氣流流型測(cè)試分靜態(tài)測(cè)試和動(dòng)態(tài)測(cè)試。

1、氣流流型（靜態(tài)）

使用水霧發(fā)生器產(chǎn)生一定濃度的水霧，保證煙霧噴出方向與氣流方向垂直。送風(fēng)口處煙霧氣流應(yīng)從風(fēng)口向四周擴(kuò)散；回、排風(fēng)處煙霧氣流應(yīng)平穩(wěn)流向回風(fēng)口，無(wú)逆流，無(wú)明顯變向和發(fā)散。不同潔凈級(jí)別相鄰房間的通道（包括門縫、傳送帶等）的氣流方向應(yīng)從正壓側(cè)平穩(wěn)流向負(fù)壓側(cè)，無(wú)逆流，無(wú)明顯變向和發(fā)散。單向流區(qū)域的送風(fēng)氣流應(yīng)沿單一方向呈平行流線，無(wú)逆流/湍流，無(wú)明顯變向和發(fā)散。示蹤物質(zhì)將潔凈室設(shè)施中的氣流可視化，采用記錄裝置如攝像儀、照相機(jī)，包括高速、頻閃或同步功能的圖像記錄裝置，記錄氣流流型的視頻并妥善保存。

2、氣流流型（動(dòng)態(tài)）

使用水霧發(fā)生器產(chǎn)生一定濃度的水霧，保證煙霧噴出方向與氣流方向垂直。

模擬動(dòng)態(tài)工藝操作，須模擬人員正常生產(chǎn)操作過(guò)程中對(duì)層流干擾的最大動(dòng)作，要求動(dòng)態(tài)情況下不破壞氣流流型，氣流組織不應(yīng)形成湍流，湍流表明空氣質(zhì)點(diǎn)呈無(wú)規(guī)則或隨機(jī)變化的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，當(dāng)不可避免地出現(xiàn)湍流時(shí)，該湍流不應(yīng)經(jīng)過(guò)高風(fēng)險(xiǎn)操作區(qū)。使用攝像裝置記錄氣流流型的視頻并妥善保存。