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電子器件失效分析流程

嘉峪檢測網(wǎng)        2025-08-20 20:21

電子元器件從設計到使用的全生命周期中,失效分析(Failure Analysis, FA)是確??煽啃缘暮诵沫h(huán)節(jié)。它如同電子世界的"法醫(yī)學",通過系統(tǒng)化的方法揭示器件失效的真相。本文將側(cè)重說明失效物理分析(PFA)的基本程序、常見失效模式與機理,以及關鍵注意事項,帶您走進精密電子器件的微觀世界。

 

一、失效分析常規(guī)程序

分析失效器件的每個步驟都應獲得必要的信息。很多分析步驟是破壞性的,無法重復進行(是一次性的)。所以應按程序小心進行,先進行“非破壞性”分析、后采取開封、切片等“破壞性”分析手段,防止將“元兇”弄掉或帶入新的破壞因素。

開封前檢測

失效信息收集:調(diào)查失效現(xiàn)象、使用環(huán)境、歷史數(shù)據(jù)

外觀檢查:觀察絲印標識、外觀引腳、損傷、腐蝕等

電特性測試:半導體特性IV曲線測試

X_Ray/聲掃:觀察器件內(nèi)部鍵合、引線、是否分層、損傷等

密封性測試:檢測管殼氣密性(針對部分器件)

失效模式分類:初步判定開路、短路、參數(shù)退化等類型

管殼開封處理

采用化學或機械方法開啟封裝:

• 塑料封裝:發(fā)煙硝酸/硫酸腐蝕

• 金屬/陶瓷封裝:精密機械開封

關鍵要求:避免引入新?lián)p失或污染

開封后微觀分析

根據(jù)情況采用以下部分手段:

•  顯微檢查:觀察芯片工藝缺陷

•  掃描電鏡:大景深高分辨率觀察

•  去鈍化層:去除鋁膜或SiO?膜

•  剖面分析:磨角染色觀察

•  材料分析:SEM/EDS成分檢測

報告與結論

•  整理數(shù)據(jù),形成失效分析報告

•  明確失效模式和失效機理

程序要點提示:

1. 分析具有破壞性且不可逆,必須按順序謹慎操作

2. 每個步驟需獲取充分信息后再進入下一步

3. 根據(jù)器件和失效情況選擇適用的設備儀器和手段

4. 明確失效機理為進一步開展根因分析提供依據(jù)

 

二、失效模式與機理:半導體的"疾病譜"

常見失效模式

失效模式就是失效的形式,即表現(xiàn)出來的特征。它可以分為六大類:開路、短路、功能喪失、特性退化(劣化)、結構材料不良、重測合格。

失效模式

典型失效表現(xiàn)案例

造成的影響

短路

介質(zhì)擊穿(如電容介質(zhì)層破裂、PCB基材碳化)

電流異常繞過設計路徑,局部過流

金屬遷移(如銀離子遷移、電化學枝晶生長)

形成導電通道,電路異常導通

過壓擊穿(如MOS管漏源極雪崩擊穿)

瞬間短路、燒毀元件

污染導電(助焊劑殘留、金屬碎屑橋接)

非設計路徑導通

開路

引線斷裂(鍵合開裂、導線脫離)

電路中斷

材料斷裂(焊點疲勞、保險熔斷)

物理連接失效,電路不通

界面分離(LED芯片與基板分離)

熱阻增大或信號傳輸中斷

腐蝕斷路(PCB銅箔硫化發(fā)黑)

導電層完全氧化阻斷電流

功能喪失

固件錯誤(程序邏輯缺陷、存儲器損壞、Flash改寫)

設備無法啟動或執(zhí)行基礎操作

電源失效(電源輸出異常)

供電不足或過壓保護觸發(fā)

核心元件死機(MCU失效、時鐘停振、復位無效)

系統(tǒng)宕機

特性退化/劣化

阻值漂移(碳膜氧化、濕氣侵入)

參數(shù)偏離設計范圍,性能下降

光效衰減(LED封裝材料褐變)

亮度降低或色溫偏移

漏電流增加(PN結熱損傷或離子污染)

功耗增大、壽命降低

機械磨損(接插件多次插拔)

阻抗增大、功耗增大、增大壓降

結構材料不良

腐蝕穿孔(晶間腐蝕、點蝕)

結構強度喪失或密封失效

變形失效(塑性變形、蠕變下垂)

裝配精度下降或功能受限

分層開裂(封裝氣泡膨脹、熱應力剝離)

密封性破壞或機械強度降低

異物污染(硅片顆粒、封裝雜質(zhì))

短路風險或光學性能下降

重測合格

接觸不良(連接器氧化、插座彈片松弛)

間歇性功能中斷

環(huán)境敏感性(熱脹冷縮引發(fā)BGA焊球微裂紋)

溫度波動時功能不穩(wěn)定

信號干擾(電磁噪聲耦合誤觸發(fā))

誤動作或重啟后恢復

失效機理深度解析

失效機理是器件失效的實質(zhì)原因,即引起器件失效的物理或化學變化過程。

失效機理

物理/化學影響過程

設計缺陷

器件版圖、工藝方案、電路和結構等方面的設計缺陷

體內(nèi)劣化

二次擊穿、CMOS閂鎖效應、中子輻射損傷、重金屬沾污和材料缺陷引起的結特性退化、瞬間功率過載等。

表面劣化

鈉離子沾污引起溝道漏電、γ 輻照損傷,表面擊穿(蠕變)、表面復合引起小電流增益減小等

金屬化劣化

金鋁合金、鋁電遷移、鋁腐蝕、鋁劃傷、鋁缺口、臺階斷鋁、過電應力燒毀等

氧化層缺陷

針孔、氧化層厚度不均勻、接觸孔鉆蝕、介質(zhì)擊穿等

鍵合缺陷

鍵合頸部損傷、鍵合強度不夠、鍵合面沾污金-鋁合金、鍵合位置不當、鍵合絲損傷、鍵合絲長尾、鍵合應力過大損傷硅片

封裝劣化

管腿腐蝕、管腿損傷、漏氣、殼內(nèi)有外來物引起漏電或短路、絕緣珠裂縫、標志不清

使用不當

靜電損傷、電浪涌損傷、機械損傷、過高溫引起、干擾信號引起、焊劑腐蝕管腳等

 

三、失效分析實驗室:專業(yè)裝備配置

基礎分析設備配置

設備類型

儀器名稱

主要功能

觀測設備

立體顯微鏡、金相顯微鏡(帶攝影)

微觀結構觀察、缺陷定位

電特性測試設備

特性曲線圖示儀、集成電路測試儀、示波器、數(shù)字電壓表、直流電源、電流表、小信號發(fā)生器、脈沖發(fā)生器、電容表等

電性能驗證、參數(shù)分析

試驗設備

高溫箱、低溫箱、微拉力計(測量鍵合絲拉力)和檢漏設備

環(huán)境模擬、鍵合強度測試

解剖工具及輔助設備

機械微探針、管殼開啟器、研磨設備及夾具、超聲波清洗器、電爐和常用工具(齊套)

樣品處理、截面制備

化學處理間

需備注通風柜。去除塑料或樹脂的發(fā)煙硝酸、發(fā)煙硫 酸,去除鋁的 NaOH和稀硫酸等,去除鈍化層的光刻腐蝕液(或氫氟酸加氟化銨溶液),PN結染色液(按方配制),硅材料選擇性腐蝕液(sirt腐蝕液),無水乙醇和丙酮等有機溶劑

材料去除、染色分析

安全防護用品

橡膠手套、防護眼鏡、防護工作服、護面等

保護操作分析人員

高端分析設備(外協(xié))

有些失效分析設備(掃描電鏡、透射電鏡、X射線微探針、離子微探針、紅外微熱像儀、X射線光電子能譜儀等)非常昂貴,可以向擁有這些設備的單位采取外協(xié)的方式,租用或委托使用他們的設備開展失效分析。使用這些設備的分析的費用也較高,應周密考慮選擇合適的分析設備,只對具有代表性的個別關鍵性樣品進行某項失效機理分析。

 

四、失效分析黃金準則

操作注意事項

• 保護失效樣品:非專業(yè)人員不要擅自拆卸器件,避免對失效器件施加額外機械/電/熱應力

• 充分調(diào)查了解:詳細了解失效器件的使用條件、失效過程、失效數(shù)量、歷史數(shù)據(jù)

• 設備適配性:根據(jù)分析目標選擇最合適設備(避免過度使用高端設備)

分析人員要求

• 掌握半導體物理、器件設計、工藝制程等專業(yè)知識

• 熟悉失效機理理論與分析技術

• 具備交叉學科知識(材料科學、化學分析)

• 接受專業(yè)培訓(失效分析技術、化學安全)

協(xié)作機制

• 建立設計-制造-使用三方協(xié)作平臺

• 定期召開跨部門失效分析會議

• 共享失效數(shù)據(jù)庫與改進方案

 

五、結語

失效分析是融合材料科學、電子工程、物理化學的交叉學科,其實質(zhì)是通過系統(tǒng)方法揭示失效的物理化學本質(zhì)。精準的失效分析不僅能解決當前問題,更能推動設計改進、工藝優(yōu)化和可靠性提升,形成"分析-改進-驗證"的質(zhì)量閉環(huán)。在半導體技術飛速發(fā)展的今天,失效分析已成為保障電子產(chǎn)品質(zhì)量的核心競爭力。

 

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來源:易瑞來可靠性工程

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