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嘉峪檢測網(wǎng) 2025-08-20 20:21
在電子元器件從設計到使用的全生命周期中,失效分析(Failure Analysis, FA)是確??煽啃缘暮诵沫h(huán)節(jié)。它如同電子世界的"法醫(yī)學",通過系統(tǒng)化的方法揭示器件失效的真相。本文將側(cè)重說明失效物理分析(PFA)的基本程序、常見失效模式與機理,以及關鍵注意事項,帶您走進精密電子器件的微觀世界。
一、失效分析常規(guī)程序
分析失效器件的每個步驟都應獲得必要的信息。很多分析步驟是破壞性的,無法重復進行(是一次性的)。所以應按程序小心進行,先進行“非破壞性”分析、后采取開封、切片等“破壞性”分析手段,防止將“元兇”弄掉或帶入新的破壞因素。
開封前檢測
失效信息收集:調(diào)查失效現(xiàn)象、使用環(huán)境、歷史數(shù)據(jù)
外觀檢查:觀察絲印標識、外觀引腳、損傷、腐蝕等
電特性測試:半導體特性IV曲線測試
X_Ray/聲掃:觀察器件內(nèi)部鍵合、引線、是否分層、損傷等
密封性測試:檢測管殼氣密性(針對部分器件)
失效模式分類:初步判定開路、短路、參數(shù)退化等類型
管殼開封處理
采用化學或機械方法開啟封裝:
• 塑料封裝:發(fā)煙硝酸/硫酸腐蝕
• 金屬/陶瓷封裝:精密機械開封
關鍵要求:避免引入新?lián)p失或污染
開封后微觀分析
根據(jù)情況采用以下部分手段:
• 顯微檢查:觀察芯片工藝缺陷
• 掃描電鏡:大景深高分辨率觀察
• 去鈍化層:去除鋁膜或SiO?膜
• 剖面分析:磨角染色觀察
• 材料分析:SEM/EDS成分檢測
報告與結論
• 整理數(shù)據(jù),形成失效分析報告
• 明確失效模式和失效機理
程序要點提示:
1. 分析具有破壞性且不可逆,必須按順序謹慎操作
2. 每個步驟需獲取充分信息后再進入下一步
3. 根據(jù)器件和失效情況選擇適用的設備儀器和手段
4. 明確失效機理為進一步開展根因分析提供依據(jù)
二、失效模式與機理:半導體的"疾病譜"
常見失效模式
失效模式就是失效的形式,即表現(xiàn)出來的特征。它可以分為六大類:開路、短路、功能喪失、特性退化(劣化)、結構材料不良、重測合格。
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失效模式 |
典型失效表現(xiàn)案例 |
造成的影響 |
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短路 |
介質(zhì)擊穿(如電容介質(zhì)層破裂、PCB基材碳化) |
電流異常繞過設計路徑,局部過流 |
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金屬遷移(如銀離子遷移、電化學枝晶生長) |
形成導電通道,電路異常導通 |
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過壓擊穿(如MOS管漏源極雪崩擊穿) |
瞬間短路、燒毀元件 |
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污染導電(助焊劑殘留、金屬碎屑橋接) |
非設計路徑導通 |
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開路 |
引線斷裂(鍵合開裂、導線脫離) |
電路中斷 |
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材料斷裂(焊點疲勞、保險熔斷) |
物理連接失效,電路不通 |
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界面分離(LED芯片與基板分離) |
熱阻增大或信號傳輸中斷 |
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腐蝕斷路(PCB銅箔硫化發(fā)黑) |
導電層完全氧化阻斷電流 |
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功能喪失 |
固件錯誤(程序邏輯缺陷、存儲器損壞、Flash改寫) |
設備無法啟動或執(zhí)行基礎操作 |
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電源失效(電源輸出異常) |
供電不足或過壓保護觸發(fā) |
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核心元件死機(MCU失效、時鐘停振、復位無效) |
系統(tǒng)宕機 |
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特性退化/劣化 |
阻值漂移(碳膜氧化、濕氣侵入) |
參數(shù)偏離設計范圍,性能下降 |
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光效衰減(LED封裝材料褐變) |
亮度降低或色溫偏移 |
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漏電流增加(PN結熱損傷或離子污染) |
功耗增大、壽命降低 |
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機械磨損(接插件多次插拔) |
阻抗增大、功耗增大、增大壓降 |
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結構材料不良 |
腐蝕穿孔(晶間腐蝕、點蝕) |
結構強度喪失或密封失效 |
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變形失效(塑性變形、蠕變下垂) |
裝配精度下降或功能受限 |
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分層開裂(封裝氣泡膨脹、熱應力剝離) |
密封性破壞或機械強度降低 |
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異物污染(硅片顆粒、封裝雜質(zhì)) |
短路風險或光學性能下降 |
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重測合格 |
接觸不良(連接器氧化、插座彈片松弛) |
間歇性功能中斷 |
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環(huán)境敏感性(熱脹冷縮引發(fā)BGA焊球微裂紋) |
溫度波動時功能不穩(wěn)定 |
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信號干擾(電磁噪聲耦合誤觸發(fā)) |
誤動作或重啟后恢復 |
失效機理深度解析
失效機理是器件失效的實質(zhì)原因,即引起器件失效的物理或化學變化過程。
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失效機理 |
物理/化學影響過程 |
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設計缺陷 |
器件版圖、工藝方案、電路和結構等方面的設計缺陷 |
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體內(nèi)劣化 |
二次擊穿、CMOS閂鎖效應、中子輻射損傷、重金屬沾污和材料缺陷引起的結特性退化、瞬間功率過載等。 |
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表面劣化 |
鈉離子沾污引起溝道漏電、γ 輻照損傷,表面擊穿(蠕變)、表面復合引起小電流增益減小等 |
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金屬化劣化 |
金鋁合金、鋁電遷移、鋁腐蝕、鋁劃傷、鋁缺口、臺階斷鋁、過電應力燒毀等 |
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氧化層缺陷 |
針孔、氧化層厚度不均勻、接觸孔鉆蝕、介質(zhì)擊穿等 |
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鍵合缺陷 |
鍵合頸部損傷、鍵合強度不夠、鍵合面沾污金-鋁合金、鍵合位置不當、鍵合絲損傷、鍵合絲長尾、鍵合應力過大損傷硅片 |
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封裝劣化 |
管腿腐蝕、管腿損傷、漏氣、殼內(nèi)有外來物引起漏電或短路、絕緣珠裂縫、標志不清 |
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使用不當 |
靜電損傷、電浪涌損傷、機械損傷、過高溫引起、干擾信號引起、焊劑腐蝕管腳等 |
三、失效分析實驗室:專業(yè)裝備配置
基礎分析設備配置
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設備類型 |
儀器名稱 |
主要功能 |
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觀測設備 |
立體顯微鏡、金相顯微鏡(帶攝影) |
微觀結構觀察、缺陷定位 |
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電特性測試設備 |
特性曲線圖示儀、集成電路測試儀、示波器、數(shù)字電壓表、直流電源、電流表、小信號發(fā)生器、脈沖發(fā)生器、電容表等 |
電性能驗證、參數(shù)分析 |
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試驗設備 |
高溫箱、低溫箱、微拉力計(測量鍵合絲拉力)和檢漏設備 |
環(huán)境模擬、鍵合強度測試 |
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解剖工具及輔助設備 |
機械微探針、管殼開啟器、研磨設備及夾具、超聲波清洗器、電爐和常用工具(齊套) |
樣品處理、截面制備 |
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化學處理間 |
需備注通風柜。去除塑料或樹脂的發(fā)煙硝酸、發(fā)煙硫 酸,去除鋁的 NaOH和稀硫酸等,去除鈍化層的光刻腐蝕液(或氫氟酸加氟化銨溶液),PN結染色液(按方配制),硅材料選擇性腐蝕液(sirt腐蝕液),無水乙醇和丙酮等有機溶劑 |
材料去除、染色分析 |
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安全防護用品 |
橡膠手套、防護眼鏡、防護工作服、護面等 |
保護操作分析人員 |
高端分析設備(外協(xié))
有些失效分析設備(掃描電鏡、透射電鏡、X射線微探針、離子微探針、紅外微熱像儀、X射線光電子能譜儀等)非常昂貴,可以向擁有這些設備的單位采取外協(xié)的方式,租用或委托使用他們的設備開展失效分析。使用這些設備的分析的費用也較高,應周密考慮選擇合適的分析設備,只對具有代表性的個別關鍵性樣品進行某項失效機理分析。
四、失效分析黃金準則
操作注意事項
• 保護失效樣品:非專業(yè)人員不要擅自拆卸器件,避免對失效器件施加額外機械/電/熱應力
• 充分調(diào)查了解:詳細了解失效器件的使用條件、失效過程、失效數(shù)量、歷史數(shù)據(jù)
• 設備適配性:根據(jù)分析目標選擇最合適設備(避免過度使用高端設備)
分析人員要求
• 掌握半導體物理、器件設計、工藝制程等專業(yè)知識
• 熟悉失效機理理論與分析技術
• 具備交叉學科知識(材料科學、化學分析)
• 接受專業(yè)培訓(失效分析技術、化學安全)
協(xié)作機制
• 建立設計-制造-使用三方協(xié)作平臺
• 定期召開跨部門失效分析會議
• 共享失效數(shù)據(jù)庫與改進方案
五、結語
失效分析是融合材料科學、電子工程、物理化學的交叉學科,其實質(zhì)是通過系統(tǒng)方法揭示失效的物理化學本質(zhì)。精準的失效分析不僅能解決當前問題,更能推動設計改進、工藝優(yōu)化和可靠性提升,形成"分析-改進-驗證"的質(zhì)量閉環(huán)。在半導體技術飛速發(fā)展的今天,失效分析已成為保障電子產(chǎn)品質(zhì)量的核心競爭力。

來源:易瑞來可靠性工程