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在半導(dǎo)體那如同星辰般精密的微觀世界里，每一次失效都像一樁懸案，考驗(yàn)著工程師們的智慧與洞察力。前文講到晶圓裂紋檢測(cè)，今天我們要分享的，就是關(guān)于晶圓裂紋的一個(gè)真實(shí)故障案例。

故障現(xiàn)象：難以捉摸的“隱形殺手”

一切始于一個(gè)棘手的漏電問(wèn)題。按照常規(guī)的失效分析（FA）流程，我們對(duì)這顆“問(wèn)題芯片”進(jìn)行了全面體檢。

無(wú)損分析未見(jiàn)明顯異常：

1.IV測(cè)試： 芯片管腳存在漏電和短路的情況。2.外觀檢查： 完好如初，在顯微鏡下反復(fù)搜尋，也未發(fā)現(xiàn)任何典型的裂紋痕跡。3.X-Ray射線檢查： 內(nèi)部結(jié)構(gòu)清晰，沒(méi)有任何裂紋或空洞的跡象。4.C-SAM聲學(xué)掃描： 封裝良好，未見(jiàn)分層或其他封裝缺陷。

所有的初步檢查結(jié)果都指向“無(wú)異常”。然而，芯片的漏電和短路卻是鐵一般的事實(shí)。難道，故障會(huì)憑空發(fā)生？

水落石出：罪魁禍?zhǔn)捉K現(xiàn)形

無(wú)損分析未發(fā)現(xiàn)明顯異常，因此分析員決定進(jìn)行更深層次的破壞性分析。當(dāng)芯片被化學(xué)開(kāi)蓋后，真相終于浮出水面——一道隱蔽的芯片裂紋赫然在目！

這道裂紋，正是導(dǎo)致芯片內(nèi)部電路短路、引發(fā)漏電的直接原因。它像一個(gè)潛伏已久的“刺客”，完美避開(kāi)了所有無(wú)損檢測(cè)手段。同時(shí)，開(kāi)蓋后的芯片并未發(fā)現(xiàn)明顯的EOS Burn Mark，因此可初步排除EOS導(dǎo)致芯片過(guò)熱燒毀產(chǎn)生裂紋的可能性。

深層思考：探尋裂紋的根源（Root Cause）

找到了直接原因，但對(duì)于質(zhì)量控制而言，更重要的是找到根本原因。

這道裂紋是如何產(chǎn)生的，針對(duì)可能性做了羅列：

1.晶圓減薄與切割應(yīng)力？——晶圓切割（Dicing）的隱匿損傷2.芯片貼裝過(guò)程中的機(jī)械應(yīng)力？——貼片（Die Attach）過(guò)程中的應(yīng)力集中3.封裝過(guò)程中的熱應(yīng)力或機(jī)械應(yīng)力？——塑封（Molding）或引線鍵合（Wire Bond）環(huán)節(jié)的機(jī)械沖擊4.還是來(lái)自客戶端的組裝應(yīng)力？——貼片或PCB板彎曲應(yīng)力

這道裂紋的形成，很可能是在生產(chǎn)或組裝的某個(gè)環(huán)節(jié)，由于潛在的應(yīng)力過(guò)大而埋下的“定時(shí)炸彈”。它在初期非常隱蔽，無(wú)法被常規(guī)手段檢測(cè)，但在后續(xù)的電性或熱應(yīng)力下逐漸擴(kuò)展，最終導(dǎo)致了芯片的失效。