1)橫向MOSFET結(jié)構(gòu)
普通橫向MOSFET,不利于耐壓的提高(易造成溝道穿通),不適合制作功率器件。
普通MOSFET結(jié)構(gòu)
LDMOSFET,解決了易溝道穿通的問題,但仍不適合制作功率器件,因為表面利用率低。但可作為集成電路中的高壓MOSFET。
LDMOS結(jié)構(gòu)
2)垂直MOSFET結(jié)構(gòu)
功率MOSFET起始于V-MOSFET,但由于氫氧化鉀腐蝕工藝和V形槽尖端的電場集中使其仍不適合制作功率MOSFET的制作。
V-MOSFET
VD-MOSFET,解決了V-MOSFET的問題,但存在JFET電阻,仍有待發(fā)展。
VD-MOSFET
U-MOSFET消除了JFET電阻,有效降低了低耐壓器件的導(dǎo)通電阻,但對高耐壓器件導(dǎo)通電阻的降低有限。
UMOSFET
超級結(jié)MOSFET通過電荷耦合效應(yīng),改善了電場分布,通過降低芯片厚度實現(xiàn)高壓器件導(dǎo)通電阻的降低。
超級結(jié)MOSFET
PART02、功率MOSFET的基本特性
無論V-MOSFET,VD-MOSFET,U-MOSFET哪一種結(jié)構(gòu),源和漏之間都包含了兩個背靠背的PN結(jié),但源和P基區(qū)之間的PN結(jié)被短路了,因此,功率MOSFET只在第一象限能承受高耐壓,在第三象限為正偏PN結(jié)特性。以VDMOSFET為例討論其特性。
1)漏極電壓較小時的I-V特性
當(dāng)柵電壓較小時,其V-I特性為一個受控于柵壓的電阻特性。隨著柵壓的增加,柵壓對電阻的控制能力減弱。
當(dāng)柵壓較小時,導(dǎo)通電阻以溝道電阻為主,受控于柵壓。當(dāng)柵壓較大時,溝道電阻以漂移區(qū)電阻為主,不受柵壓控制??傠娮璨浑S柵壓增加而減小。
2)漏極電壓較大時的I-V特性
功率MOSFET的漏源電壓為負(fù)時,呈現(xiàn)的是二極管的正向特性。如果同時在柵極施加正柵壓大于閾值電壓時,即使漏源電壓小于pn結(jié)開啟電壓,也有漏電流出現(xiàn),且隨著柵壓增加而增加??捎糜谕秸?。
PART03、超級結(jié)MOSFET的基本特性
超級結(jié) MOSFET 的核心價值是 “在中高壓領(lǐng)域打破傳統(tǒng) MOSFET 的硅極限”,通過結(jié)構(gòu)創(chuàng)新實現(xiàn)了 “高壓耐壓” 與 “低導(dǎo)通損耗” 的兼顧,同時保持快開關(guān)速度,成為中高頻中高壓電力電子系統(tǒng)的主流選擇,也是傳統(tǒng)硅基器件向?qū)捊麕骷^渡的重要橋梁。
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超級結(jié) MOSFET(SJ-MOSFET) |
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