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嘉峪檢測(cè)網(wǎng) 2025-12-18 21:01
在集成電路的微觀世界里,每一根鍵合絲都肩負(fù)著信號(hào)傳輸?shù)闹厝?,它們本?yīng)優(yōu)雅地劃出完美的弧線(xiàn)。然而,現(xiàn)實(shí)往往不盡如人意,我們來(lái)看看這張由3D Xray拍攝的內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖像。

再來(lái)看看另一個(gè)角度

正如所見(jiàn),上圖立刻將我們帶入了“案發(fā)現(xiàn)場(chǎng)”,它清晰地展示了Die與Lead Frame之間的連接狀態(tài)。如果說(shuō)理想的鍵合引線(xiàn)是訓(xùn)練有素的儀仗隊(duì),那么圖中的某些鍵合絲簡(jiǎn)直就是一群“群魔亂舞”的叛逆者。它們嚴(yán)重偏離了預(yù)定的軌跡,仿佛在塑封過(guò)程中遭遇了不可抗拒的“洪流”,最終導(dǎo)致了我們最不愿看到的局面——短路。
本文將基于此異常圖片,對(duì)這一引線(xiàn)鍵合結(jié)構(gòu)缺陷進(jìn)行專(zhuān)業(yè)、詳細(xì)的失效模式和機(jī)理分析。
一、診斷方法:3D X-ray的“透視眼”
我們采用的3D X-ray技術(shù)是封裝失效分析中的“福爾摩斯之眼”。它利用X射線(xiàn)穿透塑封材料,通過(guò)對(duì)不同角度的投影數(shù)據(jù)進(jìn)行三維重建,實(shí)現(xiàn)了對(duì)封裝內(nèi)部結(jié)構(gòu)的無(wú)損、高精度觀察。這種方法避免了傳統(tǒng)的開(kāi)封(Decapsulation)操作可能引入的二次損傷,確保了我們觀察到的缺陷是原始的“犯罪現(xiàn)場(chǎng)”。通過(guò)對(duì)上圖的視覺(jué)判讀和分析,我們確認(rèn)了以下關(guān)鍵缺陷特征:
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描述 |
判定依據(jù) |
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鍵合絲彎曲 |
多根鍵合絲發(fā)生顯著的側(cè)向位移和形變,其形變方向一致。 |
鍵合絲弧線(xiàn)與設(shè)計(jì)的偏差,形變程度遠(yuǎn)超工藝規(guī)范允許的公差。 |
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最小間距違規(guī) |
彎曲鍵合絲與基板(epad)之間的凈間距被壓縮至臨界值以下。 |
鍵合絲與基板間距極小,存在物理接觸或電性短路的風(fēng)險(xiǎn)。 |
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失效模式 |
鍵合絲沖絲短路。 |
鍵合引線(xiàn)間的物理接觸或極近距離導(dǎo)致電性連接,繞過(guò)芯片內(nèi)部電路,引發(fā)功能性失效。 |
結(jié)論: 圖像清晰地揭示了由鍵合絲彎曲導(dǎo)致的短路這一結(jié)構(gòu)性缺陷。
二、失效機(jī)理剖析
鍵合絲彎曲是塑封集成電路中最常見(jiàn)且最令人頭疼的機(jī)械失效模式之一。它的發(fā)生并非偶然,而是流體力學(xué)、材料科學(xué)和結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)三者之間未能達(dá)成完美平衡的產(chǎn)物。
1、塑封過(guò)程中的“洪流”效應(yīng)
該缺陷的根本原因在于傳遞模塑(Transfer Molding)過(guò)程中,流動(dòng)的環(huán)氧塑封料(Epoxy Molding Compound, EMC)對(duì)細(xì)小的鍵合引線(xiàn)施加了強(qiáng)大的流體動(dòng)力學(xué)剪切應(yīng)力(Hydrodynamic Shear Stress)。
想象一下,當(dāng)EMC這股“熔融的泥石流”以高壓高速注入模腔時(shí),它會(huì)試圖將路徑上的一切障礙物推開(kāi)。對(duì)于直徑僅有數(shù)十微米的鍵合絲而言,這股力量是致命的。當(dāng)EMC施加的剪切力超過(guò)鍵合絲自身的抗彎剛度和鍵合點(diǎn)附著力時(shí),鍵合絲便會(huì)發(fā)生不可逆的塑性形變,即鍵合絲彎曲。
2、關(guān)鍵耦合因素:高弧高與高粘度
鍵合絲彎曲的嚴(yán)重程度是鍵合設(shè)計(jì)和塑封工藝參數(shù)之間復(fù)雜耦合作用的結(jié)果。我們重點(diǎn)關(guān)注兩個(gè)關(guān)鍵因素:
a、鍵合設(shè)計(jì)因素:鍵合絲的“脆弱性”
鍵合絲弧高 (Loop Height): 較高的鍵合絲弧高意味著鍵合絲在塑封料流動(dòng)方向上具有更大的有效受力面積。根據(jù)流體力學(xué)原理,受力面積越大,在相同流速下承受的剪切力越大。
鍵合絲長(zhǎng)度與直徑: 較長(zhǎng)的鍵合絲和較細(xì)的鍵合絲具有較低的慣性矩和抗彎剛度。它們就像是柔弱的“面條”,更容易在外部應(yīng)力作用下發(fā)生形變。
b、塑封工藝因素:EMC 的“脾氣”
塑封料流速 (Flow Rate): 模具設(shè)計(jì)和工藝參數(shù)決定了EMC的注入速度。流速過(guò)快,剪切應(yīng)力成倍增加,直接導(dǎo)致鍵合絲彎曲風(fēng)險(xiǎn)急劇上升。
塑封料粘度 (Viscosity): EMC的粘度是決定剪切力大小的另一個(gè)核心因素。特別是在模腔的排氣側(cè)(Vent Side),由于溫度略有下降或固化反應(yīng)提前,EMC的粘度往往會(huì)升高。高粘度的EMC對(duì)鍵合絲施加的推力更大,這與高弧高鍵合絲結(jié)合時(shí),幾乎是造成鍵合絲彎曲的“完美風(fēng)暴”。
總結(jié): 本案例中觀察到的鍵合絲短路,是高弧高/長(zhǎng)鍵合絲設(shè)計(jì)與高剪切應(yīng)力(高流速或高粘度)塑封工藝共同作用的典型結(jié)果。鍵合絲在塑封料的“推搡”下,被迫擠壓在一起,最終導(dǎo)致了電氣隔離的徹底失效。
三、結(jié)論
本失效分析報(bào)告確認(rèn),該集成電路封裝的失效模式為鍵合絲與epad短路(Inter-wire Short Circuit),其直接結(jié)構(gòu)缺陷是鍵合絲彎曲(Wire Sweep)。
這一缺陷是封裝工藝中,塑封料流動(dòng)對(duì)鍵合引線(xiàn)施加的流體動(dòng)力學(xué)剪切應(yīng)力所致。其根本機(jī)理在于鍵合絲的幾何設(shè)計(jì)(如高弧高)未能有效抵抗塑封工藝參數(shù)(如高流速或高粘度)所產(chǎn)生的耦合應(yīng)力。

來(lái)源:Top Gun 實(shí)驗(yàn)室