ISO/TR 14644-21:2023潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境:懸浮粒子采樣技術(shù)(En,30頁(yè))
ISO/TR 14644-21:2023 Cleanrooms and associated controlled environmentsPart 21: Airborne particle sampling techniques
摘要
本文討論了探頭和顆粒計(jì)數(shù)器放置的物理限制,以及連接兩者的任何管道,特別是在提供5微米及以上顆粒感興趣的代表性樣品時(shí)。
該文件進(jìn)一步確定了分類和監(jiān)測(cè)時(shí)采樣性能的關(guān)鍵因素,以及確定和保持可實(shí)現(xiàn)的計(jì)數(shù)精度與現(xiàn)實(shí)生活中計(jì)數(shù)可行性之間可接受的折衷的良好做法。
本文件包括一個(gè)決策樹,用于確定采樣空氣顆粒物時(shí)的關(guān)鍵考慮因素,以及系統(tǒng)是否需要進(jìn)一步評(píng)估。還提供了一些示例來說明典型的應(yīng)用程序挑戰(zhàn),并展示了如何使用決策樹。
假設(shè)本文件與ISO 14644-1和ISO 14644-2一起閱讀。本文件不是手冊(cè),而是解釋性文件。它沒有描述ISO 14644-1和ISO 14644-2中處理的測(cè)量方法,但提供了在評(píng)估新系統(tǒng)或現(xiàn)有系統(tǒng)時(shí)幫助有效選擇采樣配置的信息。
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