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一種藥物電控釋芯片及其制作方法（17頁）

• 資料介紹

  一種藥物電控釋芯片及其制作方法

  本發(fā)明一種藥物電控釋芯片及其制作方法，屬于藥物電控釋芯片及其制作方法技術領域；所要解決的技術問題為：提供一種藥物電控釋芯片及其制作方法；解決該技術問題采用的技術方案為：包括導線層、基底、Pad、通孔、絕緣層、微電極對陣列、防漏層、藥物層和多條引線；所述基底上層由下到上依次設置有導線層、絕緣層、微電極對陣列、至少一層藥物層和至少一層防漏層；所述導線層由MEMS工藝制備得到，所述導線層內部設置有末端Pad；所述絕緣層由MEMS工藝制備得到，所述絕緣層上設置有多個通孔；所述微電極對由MEMS工藝制備得到，所述微電極對陣列通過絕緣層的通孔中金屬與導線層及pad相連；所述微電極對由兩個相對的貴金屬微電極組成；本發(fā)明應用于藥物電控釋芯片制作。

   

• 資料大?。?/label>
  709.76KB
• 所屬類別：
  科研開發(fā)
• 更新日期：
  2025-10-13
• 適用行業(yè)：
  藥品與生物制品
• 上傳人：
  dqdw1
• 標 簽：

  芯片 藥物電控釋芯片

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