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光學(xué)薄膜基本工藝講義PPT(114頁)

  • 介紹光學(xué)薄膜性能及制作工藝
    作者:中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所  周東平
     
    目錄
    第一講真空系統(tǒng)的基本知識
    第二講制備技術(shù)
    第三講鍍膜工藝
    第四講薄膜材料
    第五講膜厚監(jiān)控
    第六講電子槍和離子源工作原理和作用

  • 科研開發(fā)
  • 2020-02-27
  • 電子電氣;材料分析

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