ISO 14644-3:2019潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第3部分:檢測方法(中英對照,77頁)
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ISO 14644-3:2019潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第3部分:檢測方法(60頁)
ISO 14644-3:2019 Cleanrooms and associated controlled environments —Part 3:Test methods
本文檔提供了支持潔凈室和潔凈區(qū)運行的測試方法,以滿足空氣潔凈度分類,其他潔凈度屬性和相關(guān)的受控條件。
對兩種類型的潔凈室和潔凈區(qū)進行了性能測試:具有單向氣流的潔凈室和具有非單向氣流的潔凈室,處于三種可能的占用狀態(tài):建成,靜止和運行。
提供了用于確定性能參數(shù)的測試方法,推薦的測試設(shè)備和測試程序。 如果測試方法受潔凈室或潔凈區(qū)類型的影響,則建議采用其他程序。
對于某些測試,建議采用幾種不同的方法和設(shè)備以適應(yīng)不同的最終用途。 客戶和供應(yīng)商之間可以通過協(xié)議使用本文檔中未包含的替代方法。 替代方法不一定提供等效的測量。
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法規(guī)標準
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2023-09-09
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電子電氣;化妝品;環(huán)境與水質(zhì);藥品與生物制品;醫(yī)療器械;醫(yī)學檢驗
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