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光刻?國(guó)產(chǎn)化不僅具有重要的戰(zhàn)略意義,還蘊(yùn)含著巨?的經(jīng)濟(jì)價(jià)值,是保障我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈安全的關(guān)鍵?環(huán)。
2025/12/10 更新 分類:科研開(kāi)發(fā) 分享
清華大學(xué)和浙江大學(xué)合作展示了一種極其靈敏的氧化鋯雜化-(2,4-雙(三氯甲基)6-(4-甲氧基苯乙烯基)-1,3,5-三嗪)(ZrO2-BTMST)光刻膠系統(tǒng),可以實(shí)現(xiàn)7.77 m s–1的印刷速度,比傳統(tǒng)聚合物光刻膠快三到五個(gè)數(shù)量級(jí)。
2023/10/03 更新 分類:科研開(kāi)發(fā) 分享
華中科技大學(xué)研發(fā)的T150A光刻膠系列產(chǎn)品已通過(guò)半導(dǎo)體工藝量產(chǎn)驗(yàn)證,實(shí)現(xiàn)了原材料全部國(guó)產(chǎn)配方全自主設(shè)計(jì),有望開(kāi)創(chuàng)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體光刻制造新局面
2024/11/30 更新 分類:科研開(kāi)發(fā) 分享
本文討論了一種具有簡(jiǎn)化照明系統(tǒng)的簡(jiǎn)單、低成本、高效率的雙鏡片物鏡系統(tǒng)。
2024/08/05 更新 分類:科研開(kāi)發(fā) 分享
復(fù)旦大學(xué)完成了從材料到架構(gòu)再到流片的全鏈條自主研發(fā),成功研制出全球首款基于二維半導(dǎo)體材料的32位RISC-V架構(gòu)微處理器。
2025/04/07 更新 分類:科研開(kāi)發(fā) 分享
在日前英特爾推出了A14工藝之后,兩大晶圓廠巨頭正式入局這個(gè)巔峰之爭(zhēng)。從目前的資料看來(lái),總體而言,他們?cè)诩軜?gòu)、EUV光刻和晶體管設(shè)計(jì)上展開(kāi)了激烈競(jìng)爭(zhēng)。
2025/05/05 更新 分類:科研開(kāi)發(fā) 分享