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本文主要介紹了光刻膠材料于技術(shù)研究進展和光刻膠主要生產(chǎn)國家和地區(qū)概況
2021/07/09 更新 分類:行業(yè)研究 分享
光刻膠又稱光致抗蝕劑,是一種對光敏感的混合液體。其組成部分包括:光引發(fā)劑(包括光增感劑、光致產(chǎn)酸劑)、光刻膠樹脂、單體、溶劑和其他助劑。
2020/10/28 更新 分類:科研開發(fā) 分享
當(dāng)然,在當(dāng)前國際政治地緣下,中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)也面臨著原材料供應(yīng)鏈的不穩(wěn)定性和價格上漲的風(fēng)險。未來,中國光刻膠國產(chǎn)化之路,既面臨較高的技術(shù)門檻,又有國產(chǎn)化帶來的機遇。
2023/12/12 更新 分類:行業(yè)研究 分享
本文闡述光刻膠在芯片制造中的核心地位、市場格局、技術(shù)壁壘,及中國企業(yè)的國產(chǎn)化突圍路徑與政策支持。
2026/01/20 更新 分類:科研開發(fā) 分享
本文回顧了不同光刻膠體系的基本組分、作用原理與技術(shù)特點,在此基礎(chǔ)上分析了下一代光刻技術(shù),特別是大分子自組裝和極紫外光刻的技術(shù)特點及其對相關(guān)材料的挑戰(zhàn)。
2020/07/06 更新 分類:科研開發(fā) 分享
北大等團隊首用冷凍電鏡斷層掃描,解析光刻膠顯影微觀行為并提出優(yōu)化方案。
2025/10/27 更新 分類:科研開發(fā) 分享
光刻?國產(chǎn)化不僅具有重要的戰(zhàn)略意義,還蘊含著巨?的經(jīng)濟價值,是保障我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈安全的關(guān)鍵?環(huán)。
2025/12/10 更新 分類:科研開發(fā) 分享
清華大學(xué)和浙江大學(xué)合作展示了一種極其靈敏的氧化鋯雜化-(2,4-雙(三氯甲基)6-(4-甲氧基苯乙烯基)-1,3,5-三嗪)(ZrO2-BTMST)光刻膠系統(tǒng),可以實現(xiàn)7.77 m s–1的印刷速度,比傳統(tǒng)聚合物光刻膠快三到五個數(shù)量級。
2023/10/03 更新 分類:科研開發(fā) 分享
華中科技大學(xué)研發(fā)的T150A光刻膠系列產(chǎn)品已通過半導(dǎo)體工藝量產(chǎn)驗證,實現(xiàn)了原材料全部國產(chǎn)配方全自主設(shè)計,有望開創(chuàng)國內(nèi)半導(dǎo)體光刻制造新局面
2024/11/30 更新 分類:科研開發(fā) 分享
近日,清華大學(xué)化學(xué)系許華平教授團隊在極紫外(EUV)光刻材料上取得重要進展,開發(fā)出一種基于聚碲氧烷(Polytelluoxane,PTeO)的新型光刻膠,為先進半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵材料提供了新的設(shè)計策略。
2025/07/25 更新 分類:科研開發(fā) 分享